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    产品名称:晶圆FOUP清洗设备

    晶圆FOUP清洗设备


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    晶圆FOUP清洗设备,用于清洗6inch,8inch,12inch晶圆FOUP。

    自动上下料功能,清洁性能0.1um以内颗粒去除率可达99.99%。


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